型號:UG-L80F
藍寶石因高硬度(莫氏硬度 9 級)、優異的化學穩定性及透光性,廣泛用于 LED 襯底、半導體窗口、光學鏡頭等領域,但其精細拋光需解決 “效率高損傷低” 難題,納米氧化鋁憑借獨特性能成為核心拋光材料之一。
納米氧化鋁UG-L80F的優勢源于其微觀特性:其一,粒徑可準確控制在 5-50nm,遠小于傳統磨料,能減少拋光過程中藍寶石表面的劃痕與亞表面損傷;其二,高硬度(HV 1800-2200)與藍寶石匹配度高,兼具磨削效率與拋光精度;其三,表面可通過改性(如硅烷偶聯劑處理)提升分散性,避免團聚導致的拋光不足問題。
在實際應用中,納米氧化鋁主要以三種形態作用:一是溶膠型拋光劑,通過溶膠 - 凝膠法制備的納米氧化鋁溶膠,顆粒均勻分散于水或有機溶劑中,適用于藍寶石襯底的精拋工序,可將表面粗糙度降至 0.1nm 以下,滿足 LED 外延生長的超平整需求;二是復合拋光液,將納米氧化鋁與納米氧化鈰、納米金剛石微粉復配,利用協同作用平衡拋光效率與表面質量,用于藍寶石窗口片的粗拋 - 精拋銜接工序;三是固定磨料拋光墊,將納米氧化鋁顆粒固載于聚氨酯基底,形成有序磨料結構,減少磨料浪費并提升拋光一致性。
此外,納米氧化鋁拋光工藝可通過調控 pH 值、拋光壓力、轉速等參數,適配不同厚度、尺寸的藍寶石工件。目前,該材料已成為藍寶石拋光領域的主流選擇,推動了 LED 顯示、半導體制造等產業的精細化升級。
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