日前,由中國航天科技集團公司八院航天機電太陽能公司承擔的技術推廣項目“連續式等離子體太陽能電池減反射膜制備系統開發”,順利通過了國家國防科工局和中國航天科技集團公司驗收。該項目完成了PECVD系統集成的研制和配套工藝技術研究,突破了大型真空腔的工業化制造、大面積線性微波等離子源技術和多層鍍膜均勻性等關鍵技術,生產效率比要求指標提高了50%,申報了6項專利,其中發明專利3項,并形成了一批工藝訣竅。
免責聲明: 本文僅代表作者個人觀點,與 綠色節能環保網 無關。其原創性以及文中陳述文字和內容未經本站證實, 對本文以及其中全部或者部分內容、文字的真實性、完整性、及時性本站不作任何保證或承諾,請讀者僅 作參考,并請自行核實相關內容。