VMB/P
材質(zhì)：SS316L不銹鋼
VMB-ValveManifoldBox 閥組箱 （用于危險(xiǎn)性氣體）
VMP-ValveManifoldPanel 閥組盤 （用于安全性氣體）
我公司設(shè)計(jì)制作閥組箱，閥組盤。VMB、VMP是根據(jù)實(shí)際需求將氣體分路，同時(shí)供應(yīng)多臺(tái)設(shè)備用氣，實(shí)現(xiàn)一分N路的裝置。設(shè)計(jì)時(shí)可以加調(diào)壓閥，二次減壓讓壓力更穩(wěn)定。
1.
閥門盤配件全部采用進(jìn)口電子級(jí)材料，材質(zhì)為SS316L不銹鋼。
2.
氣體管路及焊接件加工全部采用Swagelok自動(dòng)軌道焊機(jī)焊接。
3.
氣體管路設(shè)計(jì)合理，具備抽空、回充、壓力指示、排放、檢漏、預(yù)留接口等。
4.
完善的安全報(bào)警裝置，具有氣體泄漏檢測(cè)報(bào)警（如SiH4、PH3、HCL等泄漏報(bào)警）報(bào)警信號(hào)被觸發(fā)時(shí)，自動(dòng)切斷。
5.
氣瓶柜設(shè)計(jì)美觀，緊湊，安全，質(zhì)優(yōu)價(jià)廉，可按照客戶要求定制。
我們的特氣設(shè)備有：電子級(jí)特氣柜(GasCabinet或稱鋼瓶柜、氣瓶柜)，氣體流量控制箱(Gas Box by MFC),氣體配比箱(Gas Box by FlowMeter)，閥門箱（VMB）,閥門盤（VMP），氣體偵測(cè)器（GasDetector），廢氣處理設(shè)備(Scrubber)。我們的產(chǎn)品有：美國(guó)PARKER調(diào)壓閥、FPA接頭，日本JSK卡套接頭，日本FUJIKINVCR接頭，高純KUZE/ASFLOWBA/EP不銹鋼管，高純NKS壓力表，氣體壓力傳感器，氣體壓力開關(guān)，高純Parker/富士金隔膜閥，高純氣體過濾器， 氣體質(zhì)量流量計(jì)。