簡(jiǎn)介：
HCTZ-2S型數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，專用于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。
儀器由主機(jī)、探針測(cè)試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成，測(cè)量數(shù)據(jù)既可由四探針測(cè)試儀主機(jī)直接顯示，亦可與計(jì)算機(jī)相連接通過四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)控制測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。
儀器采用了新的電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、精度高、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。
測(cè)量原理：
將四根排成一條直線的探針以一定的壓力垂直地壓在被測(cè)樣品表面上，在 1、4 探針間通以電流 I(mA)，2、3 探針間就產(chǎn)生一定的電壓 V(mV)(如圖1)。測(cè)量此電壓并根據(jù)測(cè)量方式和樣品的尺寸不同。
直線四探針測(cè)試原理圖
技術(shù)指標(biāo)：
1、測(cè)量范圍
電阻率：10-4～105Ω.cm；
方塊電阻：10-3～106Ω/□；
電阻：10-4～105Ω；
電導(dǎo)率：10-5～104s/cm；
可測(cè)晶片直徑：140mmX150mm (配S-2A型測(cè)試臺(tái))；
200mmX200mm (配S-2B型測(cè)試臺(tái))；
400mmX500mm (配S-2C型測(cè)試臺(tái))；
2、恒流源
電流量程分為 1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)；
3、數(shù)字電壓表
量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
輸入阻抗：＞1000MΩ；
精度：±0.1%；
顯示：點(diǎn)陣顯示屏；
4 、四探針探頭基本指標(biāo)
間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻: ≥1000MΩ；
機(jī)械游移率: ≤0.3％；
探針：碳化鎢或高速鋼材質(zhì)，探針直徑Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
5 、四探針探頭應(yīng)用參數(shù)
C：探針系數(shù)；
F：探針間距修正因子；
S：探針平均間距；
6、 模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差（按 JJG508-87 進(jìn)行）
0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3％±１字；
7 、整機(jī)測(cè)量最大相對(duì)誤差
(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm 測(cè)試)≤±5％；
8 、整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度≤5％；
9 、外型尺寸（大約）
電氣主機(jī): 460mm×320mm×100mm；
10 、儀器重量（大約）
電氣主機(jī): 3.5kg；
11、標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境
溫度:：23±2℃；
相對(duì)濕度：≤65％；
無高頻干擾；
無強(qiáng)光直射；
*.注意:使用1μA量程時(shí)，允許有小于1.0nA的空載電流.應(yīng)在相對(duì)濕度小于50%時(shí)使用。
設(shè)備特點(diǎn)：
1、可以測(cè)量高溫、真空、氣氛下薄膜方塊電阻和薄層電阻率；
2、軟件、觸摸屏、高溫爐等集成于一體，可以進(jìn)行可視化操作；
3、可實(shí)現(xiàn)純凈氣氛條件下的測(cè)量；同時(shí)保證探針在高溫下不氧化；
4、采用labview軟件開發(fā)，操控性、兼容性好、方便升級(jí)；
5、可自動(dòng)調(diào)節(jié)樣品測(cè)試電壓，探針和薄膜接觸閃絡(luò)現(xiàn)象；
6、控溫和測(cè)溫采用同一個(gè)傳感器，保證樣品每次采集的溫度都是樣品實(shí)際溫度；
7、可配套使用Keithley2400或2600數(shù)字多用表。
設(shè)備保養(yǎng)：
經(jīng)常保持設(shè)備和計(jì)算機(jī)的清潔、衛(wèi)生。
預(yù)防高溫、過濕、灰塵、腐蝕性介質(zhì)、水等浸入機(jī)器或計(jì)算機(jī)內(nèi)部。
定期檢查，保持零件、部件的完整性。