在機械制造業,超精密這個詞對許多人來說,已經不再陌生了,因為它同其他復雜的高新技術一樣,經過一段時間的熟悉和運用,被大眾所了解。超精密技術加工領域包含了很多IT,機械和電氣控制等方面的技術,在設備的操作方面和使用也是 非 常復雜的。超精密技術加工在國際上處于領 先地位的國家是 美國,英國和日本,而我國在80年代中期出現了具有世界水平的超精密機床和部件,但從整體發展水平方面來說,我國與外國產品產品相比,還存在著很大的差距。從世界經濟,技術發展的方向來看,超精密加工將向高精度,率,大型化,智能化,綠色化等方向發展。面向21世紀的超精密加工技術的發展趨勢體現在以下幾個方面:
1、精密化
精密加工的核心主要體現在對尺寸的精度,仿形精度,表面質量的要求。航天,航空工業,人造衛星,民用客機等等,大理石平板在制造的過程中都運用了大量的精密和超精密加工技術,如人造衛星的姿態軸承和遙側部件對觀側性能影響很大。大量的精密和超精密加工技術的應用使得受環境營銷更小的花崗石平板、花崗石構件以及量具等越來越多的被應用與精密生產制造業中。
2、智能化

以智能化的設備來降低機械加工的過程對人工經驗的依懶性,一直是 機械制造領域所追求的目標之一。機械加工設備的智能化的水平直接關系到加工的穩定性和加工的效率,這在超精密加工過程中體現的更為明顯。
3、信息化
信息,物質,能源是 制造系統的三大要素。隨著計算機,自動化和通訊 網絡技術在機械制造業中的運用,信息化的作用顯得越來越重要。在產品制造過程中加大信息的投入,已成為決定產品成本的關鍵因素。機械制造過程的實質是 對制造過程中的各種 信息資源的收集,輸入,加工和處理的過程,較 終形成產品可以看做是 信息的物質表現,因此,制造業需要使生產信息化,以此來適應21世紀快速,的生產需求。
機械系統設計
1、結構布局
齒輪測量中心有兩種結構布局,一種是 臥式結構,一種是 立式結構。考慮 到齒輪測量中心除了測量齒輪外還可能測量其它類型工件,故采用了立式結構,便于不同類型工件的安放。總體結構采用封閉框架移動式、為花崗石平臺及大理石構件直線導軌結構。直線導軌為無摩擦閉式氣浮導軌;主軸采用高精度氣浮主軸;伺服傳動系統采用了交流伺服電機驅動的滾珠絲杠螺母副傳動方式。機架和滑架為焊接鋼架結構。
2、氣浮導軌
導軌是 精密機械運動中用來保證各運動部件相對精度的一個重要部件。氣浮導軌具有精度高、無摩損、壽命長的特點,因而被廣泛應用于精密坐標測量儀中。
氣浮導軌副由導軌和氣浮滑塊組成。導軌材料為天然花崗石,性能穩定,變形小。氣浮滑塊安裝結構為球面接觸式,可自動定位。所有氣浮滑塊經逐個測試、選配以使三個氣浮導軌副均達到較好的剛度和穩定性。在氣浮滑塊布置上,為達到較高的支撐剛度,三個運動方向的氣浮滑塊均采用了對稱排布的全封閉結構,并盡可能拉開氣浮滑塊的間距。在非 導向輔助氣浮滑塊上裝有彈性環節,可減少溫度變化對導向氣浮滑塊氣浮間隙的影響,保持氣浮間隙的穩定。
3、傳動方式
交流伺服電機通過齒形帶帶動滾珠絲杠螺母副,拖動滑架沿氣浮導軌完成直線運動。為避免電機和絲杠在花崗石平臺上安裝造成防護困難和影響儀器造型,尺向傳動方式采用了電機和絲杠隨滑架運動,螺母固定在平臺上的結構形式。
齒形帶結構簡單,傳動平穩,具有較高的傳動精度和較好的減振作用,滾珠絲杠螺母副通過施加預緊力,無反向間隙,提高了傳動剛度。在螺母和滑架(T向、Z向)或平臺(R向)相連處,設計了一彈性減振裝置,減少了螺母在運動過程中相對導向導軌的平行度誤差對滑架移動精度的影響。
4、滑架與底座
精密測量機要求滑架剛度好、質量小、結構簡單。為消除內應力和提高尺寸的穩定性,焊后進行了充分的退火和穩定性處理。經測算,薄鋼板焊接的滑架,在保證剛度的情況下,其質量為同尺寸鑄鐵滑架的一半以下,從而降低了運動件的質量,提高了運動平穩性。
底座結構為槽鋼焊接件,通過對構架剛度的合理設計,使底座具有減震功能。底座上還設計有整機調平機構。
5、導軌的支承與調整
為保證滑架、導軌相對運動的準確性及運動精度,花崗石量具 在導軌安裝結構中設計了微量調整結構,借助微調整結構,可以對導軌的六個自由度進行微量調整和可靠定位。
隨著精密測量機的發展及光、機、電技術在測量領域的結合。對機械系統的設計提出了高精度、高穩定性的要求
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