產品描述

AFM100 Plus/AFM100系統是一款以普及AFM應用為目標的通用型高分辨掃描探針顯微鏡系統，具備可靠探針更換和一鍵自動測量/處理/分析功能，支持AFM-SEM-EDS多模式觀察分析，適用于研發、生產和教育等多種場合。

應用領域

一、材料科學：能獲取材料表面的三維形貌、粗糙度等信息，研究其微觀結構與加工質量。還可測量材料表面摩擦力、阻抗分布等物理性質，以及觀察材料在不同條件下的相變過程和結構演變。

二、半導體工業：可檢測半導體基片表面的拋光缺陷、圖形化結構等，提供表面粗糙度數據和深度信息，助力控制晶圓加工質量。同時能檢測半導體器件表面的缺陷以及表面阻抗、電勢分布等電學性質，有利于半導體材料的可靠性、均一性和失效性分析。

三、生命科學：可原位檢測溶液中DNA、蛋白質等生物分子的精細結構，測量其力學和電學性質。也可用于測量細胞的機械特性，觀察細胞表面形貌和膜蛋白定位，為生命科學研究提供重要手段。

四、電化學領域：能原位研究電化學沉積、金屬腐蝕等過程，揭示反應機理。結合手套箱等裝置，還可原位研究鋰電池等電池的充放電過程，有助于提高電池效率和性能。

儀器功能

一、多種測量模式：配備一系列功能模塊，可實現接觸式、輕敲式、相位圖、摩擦力及力曲線等多種測試功能。能在大氣環境下準確地觀測樣品表面微區（納米及微米尺度）三維形貌，同時可對樣品表面物理特性（電學、磁學、力學等特性）進行研究。

二、數據采集與分析：支持自動多點測量，只需點擊一下，從測量，到圖像數據分析、保存可一次性完成，大大縮短了數據測量分析時間。

三、AFM標記功能（選配）：通過采用日立高新技術自主開發的S?Mic.（AFM-SEM相關顯微鏡法）觀察方法，在觀察樣品的同一位置時，可以充分發揮AFM和掃描電子顯微鏡SEM的特性，對樣品進行機械特性、電氣特性、成分分析等檢測，易于開展多方面分析。

儀器特點

一、提高操作性：采用新開發的預裝方式懸臂，簡化了過去操作繁瑣的懸臂更換過程，提高了操作性。同時配備自動向導功能，可根據樣品的表面形貌，自動設置最佳測量條件，對探針進行接觸狀態控制和掃描速度調整等，使任何人測量都能得到穩定的結果，降低了對操作人員經驗的依賴。

二、增強可靠性：通過自動向導功能設置最佳測量條件，以及預裝懸臂減少安裝誤差等方式，提高了數據的可靠性，減少了因人為因素導致的數據差異。儀器的RMS噪音水平≦0.03nm、基線漂移≦0.03nm/sec，保障了測量的精度。

三、實現擴展性和持續性2：標配控制軟件免費下載服務和能夠自行診斷意外故障因素的自檢功能，用戶可自行進行軟件升級，始終保持儀器的最新性能，確保用戶可長期使用。

四、與 SEM 親和性高：選配的“AFM標記功能”提高了與本公司SEM裝置的親和性，便于對樣品進行多設備、多方面的聯合分析。

五、適用范圍廣：可應用于電池材料、半導體、高分子、生物材料等各個領域的科學研究開發和質量管理，從觀察石墨烯和碳納米纖維等納米材料，到超過0.1mm的大范圍3D形貌觀察、粗糙度分析、物性評估等都能勝任。

技術指標和基本參數